В Москве планируют создать установку для производства микрочипов // mos.ru Резиденты особой экономической зоны «Технополис Москва» и ученые НИУ МИЭТ проводят исследования для создания установки, которая позволит печатать микросхемы. Научные работы проходят на базе университета при участии «Зеленоградского нанотехнологического центра», который уже вложил в проект более 300 млн руб. С помощью установки планируется наладить производство чипов топологических размеров от 28 нм и меньше на базе российских синхротронов и плазменных источников излучения. В случае успеха проекта будут запущены опытно-конструкторские работы по созданию литографической установки.