В РФ строят инфраструктуру для ускорения выпуска фотолитографов Минпромторг, Минобрнауки, производители полупроводников и профильные вузы реализуют проект по строительству в РФ сети полигонов для тестирования оборудования для производства микроэлектроники, которое находится в разработке. Новая инфраструктура также нужна для обучения специалистов.