🇳🇱 Электронная многолучевая литография. История технологий Электронная многолучевая литография - MAPPER Константин Чернышев продолжает цикл публикаций, посвященных интересным технологиям литографии на основе использования электронной многолучевости. На этот раз речь идет о нидерландском проекте MAPPER - технологии многоапертурного попиксельного улучшения разрешения. Этой разработке много лет, начало восходит к 1998 году, лабораторные прототипы появились спустя 10 лет. Интересно, что в процессе разработки началось сотрудничество Mapper Litography с Роснано, которое вложило около 1 млрд руб. в создание в России предприятия по производству МЭМС электронно-оптических элементов для будущего нидерландского литографа. К 2015 году в Mapper Litography добрались до первого образца промышленного литографа FLX-1200, способного "нарисовать" 1 пластину 300 мм 28нм в час. В 2018 года после смерти основного инвестора Mapper Litography обанкротилась, в 2019 году ее наработки купила ASML и с тех пор молчит об этой технологии. А вот в Китае, возможно, продолжают разработки на основе технологии, которой занимались в Mapper Litography. В основе этой разработки лежит идея формирования потока электронов, превращения его в параллельный поток за счет коллиматорной линзы. При прохождении "толстым потоком" массива апертурных отверстий формируется более 13 тысяч лучей. Каждый луч с помощью конденсаторных микро линз фокусируется в центры отверстий гасящего массива, гасимые лучи отбрасываются на останавливающий лучи массив, а остальные направляются в массив микро-колон, состоящих из массива дефлекторов и линз. Каждая микролинза фокусирует отдельный луч на пластине и может его отклонять в диапазоне 2 мкм с точностью 1 нм, одновременно во всех микролинзах. В публикации автора все это иллюстрируется картинками. В FLX-1200 число лучей довели уже до 66 248. Решая множество проблем, ученые не смогли в заданные сроки добиться заданной производительности в 10 пластин 300 мм в час, получилось в 10 раз меньше - 1 штука в час, что, впрочем, очень неплохо, и будь FLX-1200 доступен для России, вероятно, закрыло бы множество самых разнообразных потребностей отечественной микроэлектроники. Проект интересный и, возможно, мы еще услышим о подходе MAPPER, но уже из Китая. Впрочем, и ASML вряд ли стоит убирать из рассмотрения. А может быть кто-то осилит воплощение нидерландских идей в железе в России? Возможно и от хозяйство Роснано что-то осталось? #литография #фотолитография