🇷🇺 Научные приборы. Производственное оборудование НИИТМ рассказывает о Кластере ТМ 150 Это разработанная в АО НИИТМ кластерная установка магнетронного нанесения металлов с возможностью индивидуальной обработки пластин 150 - 200 мм по принципу "из кассеты в кассету" с 4-мя технологическими модулями магнетронного распыления с возможностью смещения пластин и формирования заданного магнитного поля с использованием двух внешних электромагнитных катушек. Кластерная система позволяет конформно наносить в едином вакуумном цикле многослойные металлические пленки на высокоаспектные структуры, в том числе, для нанесения адгезионного, барьерного и медного слоев (TaN-Ta-Cu, Ti-TiN-Cu) при формировании медной разводки и сквозных контактов через кремниевые пластины (Through Silicon Via — TSV). Источники питания магнетронов мощностью до 10 кВт позволяют проводить распыление мишени в режимах постоянного и импульсного тока (HiPIMS). Установка снабжена системой предварительной очистки пластин за счет термического обезгаживания и ВЧ ионно-плазменного травления. Кластерная система снабжена многоуровневой компьютерной системой управления транспортом и технологическими модулями в соответствии с заданной программой с использованием ПО собственной разработки. В том числе поддерживается управление процессами в онлайн-режиме. Кластерная установка обеспечивает возможность получения покрытий с равномерностью до +/- 3%. Один из ближайших аналогов Кластер ТМ 150 - это установка Evatec Radiance BPM (производства Швейцарии). В НИИТМ отмечают ряд преимуществ установки собственной разработки: 🔸 Увеличенный коэффициент использования мишени, за счет использования магнетронов с вращающейся магнитной системой, что позволяет наиболее полно вырабатывать материал мишени, и, следовательно, продлить срок ее службы. 🔸 Возможность точно контролировать степень равномерности нанесенных покрытий при помощи быстрого и доступного изменения конфигурации магнитной системы, скорости ее вращения и других технологических параметров. 🔸 Возможность предварительной ВЧ-очистки обрабатываемых пластин в шлюзовой камере. #сделановРоссии #НИИТМ #производственноеоборудование